触覚センサ/ショッカクチップ™
世界最小クラスの6軸力センサ*
9×9×3mmの指先サイズを実現した世界最小クラスの多軸触覚センサを搭載したPCB基板です。MEMS技術×材料加工技術により小型化と高精度化を両立。ロボットの指先や医療器具、ゲーム機器などの限られたスペースに搭載可能です。
*当社調べ
*当社調べ
製品概要
ショッカクチップ™とは
独自のMEMS※技術と材料加工技術を核とした、ミリメートルオーダーの極小チップで、Fx, Fy, Fz, Mx, My, Mzの6軸データを同時に取得可能な世界最小クラスの触覚センサです。
多次元データを局所的に得られるため、3次元データ（Fx, Fy, Fz,）では状況判断困難な複雑環境下、あるいはより多くの表現を出力したい場合に適しています。
また「1点の測定から周辺の力分布を推定」することが可能。これにより、高価な多点計測センサを使わずに高度なセンシングを実現します。
Micro Electro Mechanical Systems
構造と原理
センサコアには、8インチウェハプロセスで製造される高精度なMEMSチップを採用しています。半導体製造技術と材料加工技術を融合することで、約0.02Nという極めて低いノイズレベルと高い再現性を実現しました。100万回以上のプレス試験をクリアする高い耐久性を備えており、研究開発から量産製品まで幅広いフェーズに対応します。
特長
小サイズ
低ノイズ・高精度
高サンプル周波数
価格/性能両立
他触覚センサとの
性能比較 ※
触覚センサは、検出方式ごとに得意・不得意があります。光学式（Vision-based）は分布計測に強い一方、耐久性・薄型化・サンプリングレートに制約があります。磁気式（Magnetic-based）は耐久性や分布計測に優れますが、ノイズや精度再現性に課題が残ります。他社の多軸力センサは精度・定格負荷は確保できるものの、一定の厚さがあるため、用途が限定されます。
積水化学のショッカクチップ™（MEMS）は、いずれか一項目に突出するのではなく、耐久性・薄さ・精度再現性・定格負荷・ノイズ・サンプリングレート・分布計測の7項目すべてで一定水準を満たす点が特徴です。用途の優先条件に合わせて方式をご検討ください。
| 特性/製品 | ショッカクチップ™ MEMS |
他社多軸力センサ | 光学式 Vision-based |
磁気式 Magnetic-based |
|---|---|---|---|---|
| 耐久性 |  |
N/A |  |
|
| サイズ（薄さ） | |
|
|
|
| 精度再現性 | |
|
N/A | |
| 定格負荷 | |
|
N/A | |
| ノイズ | |
N/A | N/A | |
| サンプリングレート | |
|
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| 分布計測 | |
|
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当社調べ
用途
- ①ロボット/ヒューマノイド
- 物体把持の安定性向上。分布計測により把持力と接触強度を検知します。小さなもの、壊れやすいものを把持することが可能になります。
- ②コントローラー
- 繊細かつ複雑な操作を実現します。
スティック、ボタン、トリガーからの複合入力を検知します。
- ③材料評価/触覚評価
- 素材の柔らかさ、風合い、触感特性などを定量的に測定可能になります。
こんなお困りごとはありませんか？
- 実装してもすぐに壊れる：繊細な作業をさせたいが、センサ自体の耐久性が不安。
- 採算が取れない：1つ数万円〜のセンサを複数箇所or多点配置すると、エンド製品の価格が跳ね上がる。
- サイズが大きすぎる：構造制約の中でセンサ実装できない。
- データ量が不十分：3軸センサでは、複雑な「滑り」や「トルク」を捉えきれない。
ラインナップ
| Item | Units | TYPE A | TYPE B | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Min | Typ | Max | Min | Typ | Max | ||||
| 1 | Storage Temp. Range | ℃ | -20 | － | 60 | -20 | － | 60 | |
| 2 | Operating Temp. Range | ℃ | 0 | － | 50 | 0 | － | 50 | |
| 3 | Rated Voltage | VDC | － | 3.3 | － | － | 3.3 | － | |
| 4 | Operating Voltage Range | VDC | 3.0 | － | 3.6 | 3.0 | － | 3.6 | |
| 5 | Current Consumption | mA | － | － | 24 | － | － | 24 | |
| 6 | Force Range | Fx, Fy | N | -7.0 | － | 7.0 | -3.0 | － | 3.0 |
| Fz | N | － | － | 18.0 | － | － | 6.0 | ||
| Mx, My | Nmm | -15.0 | － | 15.0 | -6.0 | － | 6.0 | ||
| Mz | Nmm | -30.0 | － | 30.0 | -10.0 | － | 10.0 | ||
| 7 | Overload | % | － | － | 150 | － | － | 150 | |
| 8 | Accuracy | Hysteresis | %FS | － | － | 3.0 | － | － | 3.0 |
| Linearlity | %FS | -7.5 | － | 7.5 | -7.5 | － | 7.5 | ||
| 9 | Cross-axis Interference | %FS | -3.0 | － | 3.0 | -3.0 | － | 3.0 | |
| 10 | Resolution | Fx, Fy, Fz | N | － | － | 0.5 | － | － | 0.02 |
| Mx, My, Mz | Nmm | － | － | 0.2 | － | － | 0.05 | ||
| 11 | Sampling Rate | msec | － | － | 4 | － | － | 4 | |
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- エレクトロニクス
| 名称 | 種別 | 形式 | 更新日 | ファイル |
|---|---|---|---|---|
| TDS〈エレクトロニクス〉：ショッカクチップ™ | エレクトロニクス | 2026-08-28 | ダウンロード516.33 KB |
