エレクトロニクス

触覚センサ/ショッカクチップ™

世界最小クラスの6軸力センサ*

10×22×2.8mmの指先サイズを実現した世界最小クラスの多軸触覚センサです。MEMS技術×材料加工技術により小型化と高精度化を両立。ロボットの指先や医療器具、ゲーム機器などの限られたスペースに搭載可能です。
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特長
他触覚センサとの性能比較
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ラインナップ
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製品概要

ショッカクチップ™とは

独自の超小型MEMS^※と材料加工技術を活用し、3分力（Fx,Fy,Fz）と各軸周りのモーメント（Mx,My,Mz）の6軸を計測可能な世界最小クラスの触覚センサです。
小型薄型で高い実装自由度、高精度6軸計測で様々な状況下で活用可能です。

Micro Electro Mechanical Systems

構造と原理

センサには半導体素子であるMEMSチップを採用しており、高い量産効果が見込まれます。また材料加工技術との融合で、小型ながら約0.2Nという低いノイズレベル（Fz）と精度を実現しました。

特長

小サイズ・薄型
低ノイズ・高精度
高サンプリングレート
価格/性能両立

他触覚センサとの
性能比較 ^※

触覚センサは、検出方式ごとに得意・不得意があります。光学式（Vision-based）は分布計測に強い一方、耐久性・薄型化・サンプリングレートに制約があります。磁気式（Magnetic-based）は耐久性や分布計測に優れますが、ノイズや精度再現性に課題が残ります。他社の多軸力センサは精度・定格負荷は確保できるものの、一定の厚さがあるため、用途が限定されます。
積水化学のショッカクチップ™（MEMS）は、いずれか一項目に突出するのではなく、耐久性・薄さ・精度再現性・定格負荷・ノイズ・サンプリングレート・接触位置検知の7項目すべてで一定水準を満たす点が特徴です。用途の優先条件に合わせて方式をご検討ください。

特性/製品	他社多軸力センサ	光学式 Vision-based
耐久性	N/A
サイズ（薄さ）
精度再現性		N/A
定格負荷		N/A
ノイズ	N/A	N/A
サンプリングレート
接触位置検知

当社調べ

用途

①ロボット/ヒューマノイド: 物体把持の安定性向上。接触位置検知により把持力と接触強度を検知します。小さなもの、壊れやすいものを把持することが可能になります。

②コントローラー: 繊細かつ複雑な操作を実現します。
スティック、ボタン、トリガーからの複合入力を検知します。

③材料評価/触覚評価: 素材の柔らかさ、風合い、触感特性などを定量的に測定可能になります。

こんなお困りごとはありませんか？

実装してもすぐに壊れる：繊細な作業をさせたいが、センサ自体の耐久性が不安。
採算が取れない：1つ数万円〜のセンサを複数箇所or多点配置すると、エンド製品の価格が跳ね上がる。
サイズが大きすぎる：構造制約の中でセンサ実装できない。
データ量が不十分：3軸センサでは、複雑な「滑り」や「トルク」を捉えきれない。

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ラインナップ

項目			Units	仕様値			備考
項目			Units	Min	Typ	Max	備考
1	保存温度範囲		℃	-10	－	60	Max. 90%RH,結露無きこと
2	使用温度範囲		℃	0	－	50	Max. 90%RH,結露無きこと
3	定格電圧		V_DC	－	3.3	－
4	電源電圧範囲		V_DC	3.0	－	3.6
5	消費電流		mA	－	－	26
6	定格負荷	Fx, Fy	N	-7	－	7
7		Fz	N	－	－	18
8		Mx, My	Nmm	-15	－	15
9		Mz	Nmm	-30	－	30
10	許容過負荷		%	－	－	150
11	検出精度	Fx, Fy, Fz	%FS	-7.5	－	7.5	at 25℃,オフセット誤差,感度誤差, 直線性誤差,ヒステリシスを含む
12	検出精度	Mx, My, Mz	%FS	-7.5	－	7.5	at 25℃,オフセット誤差,感度誤差, 直線性誤差,ヒステリシスを含む
13	有効分解能	Fx, Fy, Fz	N	－	－	0.2
14		Mx, My	Nmm	－	－	0.5
15		Mz	Nmm	－	－	1.0
16	応答速度		msec	－	－	4